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(4-叔丁基苯基)碘化鉍三氟甲烷磺酸鹽（Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium trifluoromethanesulfonate）是一種先進的光酸生成劑（PAG），主要用于半導體和微電子領域，特別是在深紫外（DUV）光刻工藝中。該化合物結構中的碘化鉍陽離子和三氟甲烷磺酸鹽陰離子能夠在光照下產生強酸，有效促進光刻膠的顯影反應，達到高分辨率和優異的圖形保真度。該光酸生成劑在電子級光刻膠和高精度微納米制造中的應用廣泛，能滿足對高光敏性和優異化學穩定性的苛刻要求。
易溶于有機溶劑，如乙腈、丙酮、甲苯等，適合與光刻膠溶劑系統相容。溶解度低于水，因此在水基系統中的應用受到限制。
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