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(4-叔丁基苯基)碘化鉍三氟甲烷磺酸鹽（Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium trifluoromethanesulfonate）是一種先進(jìn)的光酸生成劑（PAG），主要用于半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域，特別是在深紫外（DUV）光刻工藝中。該化合物結(jié)構(gòu)中的碘化鉍陽離子和三氟甲烷磺酸鹽陰離子能夠在光照下產(chǎn)生強(qiáng)酸，有效促進(jìn)光刻膠的顯影反應(yīng)，達(dá)到高分辨率和優(yōu)異的圖形保真度。該光酸生成劑在電子級光刻膠和高精度微納米制造中的應(yīng)用廣泛，能滿足對高光敏性和優(yōu)異化學(xué)穩(wěn)定性的苛刻要求。
易溶于有機(jī)溶劑，如乙腈、丙酮、甲苯等，適合與光刻膠溶劑系統(tǒng)相容。溶解度低于水，因此在水基系統(tǒng)中的應(yīng)用受到限制。
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